2013年外文翻译--树脂粘度与压印压力模式之间的相关关系（译文）

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1、中文 2800 字， 1800 英文单词， 9800 英文字符  文献出处： Jang S, Lee J G, Lee H. Correlation between resin viscosity and imprinting pressure modeJ. Electronic Materials Letters, 2013, 9(6):793-796. 树脂粘度与压印压力模式之间的相关关系  Siyoul Jang， Jae-Gab Lee 和 Heon Lee 机械和自动化工程学院， kookmin 大学，首尔  136-702。韩国国民大学韩国先进材料工学

2、院  136702 韩国韩国先进材料工程学校韩国大学韩国首尔  136-701 韩国  （收到日期： 2012 年  10 月  13 日 /接受日期： 2013 年  7 月  9 日 /发布日期： 2013 年  11 月  10 日）  摘要： 期间的变化通过改变树脂粘度和印迹压力模式来研究印迹过程。  如果要求压印过程达到所建议的剩余树脂厚度或开口水平，则应根据压印压力的大小和速率  指定适当的工艺周期，因为剩余层厚度（ RLT）受这些因素的显著影响。此外，树脂粘度对

3、  RLT 变化的影响与印刻压力模式相同。使用具有图案密度为  12.03的重复椭圆突起的模具进行数值模拟，以确定所考虑的过程因素对压印过程周期的影响。  关键词： 剩余层厚度，压印压力，润滑，开口水平   1 引言  印刷广泛应用于各种制造工艺中，近年来大量生产应用中其生产效率的重要性日益突  出。已经通过实验证明， uv 压印的处理时间取决于树脂粘度，以及  uv 固化之前压印压力的  大小和速率。（压力模式）的残留层厚度（ rlt），树脂粘度和压印压力模式是决定加工时间  的主要工艺因素。 1特别是

4、树脂的粘度不仅直接影响模具设计的图案密度和突起比，而且还  会影响压印模式，在亚微米级紫外线高压粘合树脂的薄膜状态下，流动阻力很高，这是由于  薄膜机制，保证高压印压力，最终导致霉变。 2特别是在零残留层压印时，压印压力保持很  长时间，从而增加了模具变形的可能性。避免这种情况，模具尺寸应该更小，它的一致性必  须提高，以形成均匀性。 3-6 关于  uv 树脂在模腔中的粘性行为必须增加顺应性，大多数模拟研究仅仅选择了不变的  压印速度，恒定的施加压印压力和恒定的力，这对于面印记系统是不可能的。 6作为对应作  者的窗口打开

5、过程，由达到零  rlt 的压印压力和树脂粘度两者所控制，可以通过改变所施加  的压印压力来操纵。但是，一旦设备启动，大多数压印机都不能在直接模式下施加所需的压  印压力。  在最近的模拟研究过程 6-7中，压印压力逐渐增加到其最终值。通过考虑优化模具表面  上的凹凸分布来计算压印过程中的变化。树脂粘度是最重要的印记过程参数之一，在薄膜状  态下被认为 是非常高的，例如 -10spas 的数值分析。  在本研究中，使用重复  2-d 模式特征，模拟了基于压印模式和树脂粘度的树脂压力发展  和在压印过程中的

6、变化。结果显示在不同印迹条件下  rlt 变化有明显差异。  2 在紫外压印系统中不同的树脂粘度下的变化  树脂粘度被控制到很小（ 10mpas），以便确保腔体的快速和完全填充以及在短的处  理时间内将树脂分配在基板上。但是，由于薄膜效应，目标具有非常高的粘度（例如 -10“ 帕），  为了在薄膜状态下达到压印树脂粘度的适当值， 9可以测量  rlt 作为固定施加载荷下的印刷  处理时间的函数如果毛细管力在相对较高的压印压力下不占优势，则树脂粘度成为控制压印  时间的主要因素之一。 3 如果毛细管力在相对较高的压印

7、压力下不占主导地位，则树脂粘度成为控制压印时间的主要 因素之一， rlt 由  Stephens 公式（ 1） 3表示， i 不稳定压印压力，其中  h0， 0， s 和  p 分别  是初始树脂层，零剪切粘度，突起部分和压印压力。该方程表明树脂  rlt 在印刷开始时突然  减小，并且随着膜厚度减小， rlt 的变化率降低。  仿真研究表明压印速度可以看作是一个可控的固定输入值。然而，实际印记者的工作条件与  假设的假设不同。因此，使用恒定的挤压速度作为输入值需要在  rlt 接近于零时实际印刷机  中所施加的压印压力急剧增加。此外，在真正的压印设备开始运行之后，施加的压印压力逐  渐增加到指定的压力。速率压力增加与  rlt 变化密切相关，因此这个变量应该考虑到允许的  压印过程周期。  在压印区域上形成的树脂压力  p（ x， y）可以用润滑理论  reynolds eq。（ 3） 8它是从三  维