1、中文 2800 字， 1800 英文单词， 9800 英文字符 文献出处： Jang S, Lee J G, Lee H. Correlation between resin viscosity and imprinting pressure modeJ. Electronic Materials Letters, 2013, 9(6):793-796. 树脂粘度与压印压力模式之间的相关关系 Siyoul Jang， Jae-Gab Lee 和 Heon Lee 机械和自动化工程学院， kookmin 大学，首尔 136-702。韩国国民大学韩国先进材料工学
2、院 136702 韩国韩国先进材料工程学校韩国大学韩国首尔 136-701 韩国 （收到日期： 2012 年 10 月 13 日 /接受日期： 2013 年 7 月 9 日 /发布日期： 2013 年 11 月 10 日） 摘要： 期间的变化通过改变树脂粘度和印迹压力模式来研究印迹过程。 如果要求压印过程达到所建议的剩余树脂厚度或开口水平，则应根据压印压力的大小和速率 指定适当的工艺周期，因为剩余层厚度（ RLT）受这些因素的显著影响。此外，树脂粘度对
3、 RLT 变化的影响与印刻压力模式相同。使用具有图案密度为 12.03的重复椭圆突起的模具进行数值模拟，以确定所考虑的过程因素对压印过程周期的影响。 关键词： 剩余层厚度，压印压力，润滑，开口水平 1 引言 印刷广泛应用于各种制造工艺中，近年来大量生产应用中其生产效率的重要性日益突 出。已经通过实验证明， uv 压印的处理时间取决于树脂粘度，以及 uv 固化之前压印压力的 大小和速率。（压力模式）的残留层厚度（ rlt），树脂粘度和压印压力模式是决定加工时间 的主要工艺因素。 1特别是
4、树脂的粘度不仅直接影响模具设计的图案密度和突起比，而且还 会影响压印模式，在亚微米级紫外线高压粘合树脂的薄膜状态下，流动阻力很高，这是由于 薄膜机制，保证高压印压力，最终导致霉变。 2特别是在零残留层压印时，压印压力保持很 长时间，从而增加了模具变形的可能性。避免这种情况，模具尺寸应该更小，它的一致性必 须提高，以形成均匀性。 3-6 关于 uv 树脂在模腔中的粘性行为必须增加顺应性，大多数模拟研究仅仅选择了不变的 压印速度，恒定的施加压印压力和恒定的力，这对于面印记系统是不可能的。 6作为对应作 者的窗口打开
5、过程，由达到零 rlt 的压印压力和树脂粘度两者所控制，可以通过改变所施加 的压印压力来操纵。但是，一旦设备启动，大多数压印机都不能在直接模式下施加所需的压 印压力。 在最近的模拟研究过程 6-7中，压印压力逐渐增加到其最终值。通过考虑优化模具表面 上的凹凸分布来计算压印过程中的变化。树脂粘度是最重要的印记过程参数之一，在薄膜状 态下被认为 是非常高的，例如 -10spas 的数值分析。 在本研究中，使用重复 2-d 模式特征，模拟了基于压印模式和树脂粘度的树脂压力发展 和在压印过程中的
6、变化。结果显示在不同印迹条件下 rlt 变化有明显差异。 2 在紫外压印系统中不同的树脂粘度下的变化 树脂粘度被控制到很小（ 10mpas），以便确保腔体的快速和完全填充以及在短的处 理时间内将树脂分配在基板上。但是，由于薄膜效应，目标具有非常高的粘度（例如 -10“ 帕）， 为了在薄膜状态下达到压印树脂粘度的适当值， 9可以测量 rlt 作为固定施加载荷下的印刷 处理时间的函数如果毛细管力在相对较高的压印压力下不占优势，则树脂粘度成为控制压印 时间的主要因素之一。 3 如果毛细管力在相对较高的压印
7、压力下不占主导地位，则树脂粘度成为控制压印时间的主要 因素之一， rlt 由 Stephens 公式（ 1） 3表示， i 不稳定压印压力，其中 h0， 0， s 和 p 分别 是初始树脂层，零剪切粘度，突起部分和压印压力。该方程表明树脂 rlt 在印刷开始时突然 减小，并且随着膜厚度减小， rlt 的变化率降低。 仿真研究表明压印速度可以看作是一个可控的固定输入值。然而，实际印记者的工作条件与 假设的假设不同。因此，使用恒定的挤压速度作为输入值需要在 rlt 接近于零时实际印刷机 中所施加的压印压力急剧增加。此外，在真正的压印设备开始运行之后，施加的压印压力逐 渐增加到指定的压力。速率压力增加与 rlt 变化密切相关，因此这个变量应该考虑到允许的 压印过程周期。 在压印区域上形成的树脂压力 p（ x， y）可以用润滑理论 reynolds eq。（ 3） 8它是从三 维
