毕业设计----粘接单晶检测装置零部件的加工

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1、 1 毕毕 业业 设设 计计 设计题目：粘接单晶检测装置零部件的加工 2 摘摘 要要 粘接单晶检测装置为一种实用的测量单晶硅棒垂直度的检具，检测 装置的一些组成部分有底座、轴、托盘、调节滑块、导轨、表杆和百分 表等。其中轴与底座垂直相连，且能沿其轴线相对底座转动。百分表通 过轴 2、调节滑块与导轨锁紧。在对单晶硅棒进行垂直度检测时，托盘 上放置硅棒，轴进行同轴等半径转动；百分表表头压在硅棒表面上可沿 导轨上下移动，然后读出数值。粘接单晶检测装置适用粘接单晶硅片时 测量单晶硅棒的垂直度，测量精度高，能测得垂直度误差数值。 关键词：关键词：底座 轴 托盘 滑块 导轨 百分表 3 目目 录录 摘要

2、目录 第一章 概述 1 检测装置的作用 1 第二章 旋转部分 2 第一节 底座的加工工艺分析 2 第二节 轴承端盖的加工工艺分析 7 第三节 轴的加工工艺分析 11 第四节 托盘的加工工艺分析 14 第五节 旋转盘的加工工艺分析 16 第三章 检测部分 22 第一节 滑块的加工工艺分析 22 第二节 底座 2 的加工工艺分析 25 第三节 导轨的加工工艺分析 28 第四节 轴 2 的加工工艺分析 29 第四章 附件的选择 33 结论 34 参考文献 37 附录 4 第一章第一章 概述概述 粘接单晶检测装置粘接单晶检测装置 在单晶棒粘接的前期准备工作，其最重要的一个环节便是检测单晶棒 的垂直度。

3、但是多台粘接设备只配备一台测量垂直度的检具，这就导致了 在 实 际 生 产 过 程 中，粘接硅棒的时 间效率远远高于硅 棒 测 量 的 时 间 效 率，从而在一定程 度上影响了生产效 率。针对这一弊端， 特别为单晶棒粘接 过程而研制了专用 的检具粘接单 晶检测装置。 粘接单晶检测 装置是针对 6 8单晶棒的检具， 该检测装置可以测量 100-600mm 的单晶棒。 该检具由转 5 动部分、测量部分组成，其可调性强，稳定性好，操作简便，从而提高了 工作效率。 第二第二章章 转动部分转动部分 第一节第一节 底座的加工工艺分析底座的加工工艺分析 一一 、零件的作用、零件的作用 底座是用来固定旋转盘的，它安装在检具中转动装置的最下方，通过 轴承来固定旋转盘，并且起一个支撑和定位单硅棒的作用，从而以保证硅 棒的检测中的稳定性及定位的准确性。 二、底座工艺分析二、底座工艺分析 1、该零件由内外圆柱表面、圆柱孔、及螺纹孔组成，其中100mm 的 阶梯孔是为了和轴承配合，所以精度要求是非常高的。如果加工精度达不 到要求，那么它将会对检具的检测精度带来很大的影响。 零件材料为 Q235A，毛坯为25528