毕业论文---多晶硅生产工艺的发展

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1、 2009 2010 学年 第 一 学期 毕业设计（论文） （课程设计） 课题 名称： 多晶硅 生产工艺的发展 设计时间： 2009.11.23 2009.12.10 系 部 ： 化 学 工 程 系 班 级 ： 0703 应化 答 辩 情 况 答辩教师： 年 月 日 评 语 成 绩 评 定 指导教师： 年 月 日 1 目 录 引言 . 4 一、多晶硅的现状及发展前景 . 5 1.1 多晶硅的应用 . 5 1.2 多晶硅在我国的发展 . 5 1.3 全球多晶硅的发展 . 7 二、多晶硅产业总体发展趋势 . 10 2.1 多晶硅产业产能发展分析 . 10 2.2 多晶硅生产工艺发展趋势 . 12

2、2.2.1 半导体用多晶硅技术及发展趋势 . 13 2.2.2 可再生能源光伏产业用多晶硅发展趋势 . 13 2.2.3 国内多晶硅产业技术发展趋势 . 14 三、多晶硅生产流程的发展 . 14 3.1 SiCl4 法制备第一代多晶硅 . 15 3.2 SiH2Cl2 法制备第二代多晶硅 . 16 3.3 SiHCl3 法制备第三代多晶硅 . 17 3.4 改良西门子法制备多晶硅 . 18 3.4.1 大型多晶棒节能型还原炉 . 19 3.4.2 导热油循环冷却还原炉工艺技术 . 19 3.4.3 还原尾气的干法回收技术 . 19 3.4.4 四氯化硅（ SiCl4）氢化反应技术 . 20 3.5 SiHCl3 法的探讨 . 21 五、我国多晶硅光伏产业面临三大困境 . 24 5.1 金融危机使多晶硅产业急转直下 . 24 5.2 多晶硅光伏产业发展面临三大困境 . 25 5.3 多晶硅光伏产业“两头在内 才能有出路 . 26 六、当代多晶硅制备工艺中的不足及改进措施 . 26 6.1 多晶硅制备工艺中所存在的不足 . 26 6.2 改进措施 . 27