1、 要 柔性铰链以其无摩擦、无间隙、运动灵活、敏度高的优点，在各个领域得到 广泛应用，尤其在纳米技术领域中有着广泛的应用前景，柔性铰链是实现纳米 级微运动的关键技术，其运动位移的测量与控制是实现纳米运动的核心技术。 本次毕业设计采用柔性铰链机构和电容传感器，设计了一套微动工作台的测量 与控制系统。用我们所学知识，使之成为一套精密测量系统，实现高效率，高 精度，高稳定性，低误差的测量。在该系统中，由柔性铰链构成的平行四杆机 构产生一个微位移量d。而由于被测位移量为纳米级，从而采用电容式传感器 进行测量。以单片机为核心对信号进行处理，并用键盘输入预定值并用 LED 数 码管显示。为了更好地减小误差，
2、提高系统的精度，运用 PID 算法结合压电陶 瓷驱动来实现对该工作台的精密控制。运用解析法，从理论上分析了柔性铰链 工作台的。 。 。 。 。 。 。 。 。描述了电容传感器的测量原理，设计了。 。 。 。 。 。 。最后，对 PID。 。 。 。 。 。 。 。 关键词关键词：柔性铰链，电容式传感器，传感器处理电路，MCS-51 单片机，压电陶 瓷 AbstractAbstract Flexible hinge with its no friction, no clearance, sports flexible, the advantage of high sensitivity, wid
3、ely used in various fields. Especially in the field of nanometer technology has a wide application prospect, flexible hinge nanoscale micro motion is to realize the key technology, their sports displacement measurement and control is to realize the core technology of the nanometer movement. This pap
4、er based on flexible hinge, design a set of budge workbench measurement and control systems. With our knowledge learnt, make it become a set of precision measuring system, realize high efficiency, high precision, high stability, low error of measurement. In this system, composed of by flexible hinge parallel four-bar produce a micro displacement quantity. And for being measured displacement, thus using nanoscale capacitive sensor measurements. Based on singlechip on signal processing, and disp
