1、 1 目录目录 摘要 4 Abstract 5 第一章 绪论 6 1.1 空气洁净概念综述 6 1.1.1 空气净化与洁净空气 6 1.1.2 无尘室及其组成 6 1.2 空气洁净技术概述 7 1.2.1 洁净室技术的发展历程 7 1.2.2 洁净等级. 8 1.2.3 洁净室分类 9 1.2.4 洁净室的应用领域 10 1.3 气流组织形式及换气次数 11 第二章 工程概况 12 2.1 原始资料 12 2.1.1 工程简介 12 2.1.2 围护结构 12 2.2 气象资料 13 2.2.2 冬季参数 13 2.2.3 室内参数 13 2.3 工艺资料 13 2.4 任务要求 14 第三章
2、 负荷计算 15 3.1 基本概念. 15 3.1.1 冷负荷与的热量 15 3.2 冷负荷计算公式. 16 3.3 热负荷计算公式. 19 第四章 空调系统方案的确定 21 4.1 空调系统分类 21 4.2 各种空调系统比较 22 4.3 空调系统选择原则 25 4.3 洁净空调系统与普通空调系统的区别. 26 4.4 本课题国内外的研究现状. 26 * 2 4.4.1 光学微电子净化工程净化原理. 27 4.4.2 光学微电子净化工程净化参数. 27 4.4.3 光学微电子净化工程解决方案. 27 4.5 空调送风系统方案选定. 29 4.6 洁净室的压差控制及排风系统方案选定. 30
3、4.7 空调系统防火分区的划定. 30 第五章 洁净室空调系统设计 31 5.1 洁净室的气流流型和送风量. 32 5.1.1 气流流型的设计要符合下列要求. 32 5.1.2 洁净室的送风量应取下列三项中的最大值. 32 5.1.3 保证空气洁净等级的送风量. 32 5.1.4 室内设施布置. 33 5.1.5 洁净室压差控制 33 5.2 洁净室正压风量的计算 34 5.3 根据负荷计算送风量. 36 5.4 回风量以及排风量的计算 39 5.5 各空调区域风量及所需制冷量计算 39 5.6 气流组织形式的选择与计算 40 5.6.1 气流组织形式的确定. 42 5.6.2 气流贴附长度校
4、核计算. 42 第六章 水力计算及设备选型 43 6.1 风管水力计算方法简述 43 6.2 风管系统总阻力的计算 45 6.2.1 风管管径的确定. 45 6.2.2 送风系统水力计算. 45 6.2.3 回风系统水力计算. 47 6.3.1 空气处理机组选型. 49 6.3.2 冷却塔选型. 51 6.3.3 水泵选型. 52 6.3.3 水处理设备选型. 53 第六章 空调制冷机房布置 53 6.1 制冷机房布置 53 6.2 技术要求 53 6.3 建筑布局要求 54 3 6.4 设备的隔音与降噪 54 6.5 管道防腐与保温 55 结束语 56 参考文献 57 致谢 58 附录 59
5、 英文文献翻译 59 An Experiment on Energy Reduction of an Exhaust Air Heat Recovery Type Outdoor Air Conditioning System for Semiconductor Manufacturing Clean Rooms 59 ABSTRACT. 59 Introduction 60 Experimental Methods . 61 Results and Discussion 63 CONCLUSION 65 ACKNOWLEDGMENT 65 REFERENCES 65 译文 66 空调排气热回
6、收实验半导体车间热回收型洁净空调系统 66 摘要 66 实验过程介绍 67 试验方法 68 实验结果与讨论 69 总结 71 致谢 72 * 4 摘要摘要 晶体管厂恒温车间空气调节工程属于光学微电子净化工程亦名无尘室或清 净室，目前已是半导体、精密制造、液晶制造、光学制造、线路板制造和生物化 学、 医药、 食品制造等行业不可或缺的重要设施。 近几年来， 由于技术创新发展， 对于产品的高精密度化、细小型化之需求更为迫切，如超大型积体电路之研究制 造，已成为世界各国在科技发展上极为重视的项目。 本文详细介绍了无锡某晶体管恒温恒湿无尘室车间的设计过程， 车间内包括 精磨间，精镗间，光曲磨间，电位差计校验修理室等。设计区按晶体管生产工艺 需求设计 ISO-7 级洁净空调系统，净化空调系统严格遵守电子工业洁净厂房设 计规范 （GB 50472-2008）和洁净厂房设计规范 （GB50073-2001）的相关规 定采用初、中、高三级过滤全空气空调系统，气流组织形式采用上部侧送、中上 部回风方式。 本设计本着规范、合理、节能的三个设计原则在首先保证所设计的空调系统 能够达到晶体管厂恒温车间生
