1、 目录 摘要 1 Abstract. 2 1 绪论 3 1.1 课题意义 3 1.2 国内外的研究情况 3 1.3 主要任务 5 2 系统组成 6 2.1 直线音圈电机原理 6 2.1.1 直线音圈电机 6 2.1.2 一维系统驱动原理图 6 2.1.3 音圈电机数学模型 6 2.2 PID 算法 8 2.3 空气弹簧.11 2.3.1 空气弹簧隔振器力学模型.11 2.3.2 空气弹簧隔振器的固有频率 14 2.3.3 隔振的评价 17 2.4 电容式加速度传感器 18 2.4.1 电容式加速度传感器的数学模型 18 2.5 放大电路，滤波电路设计 22 2.5.1 仪用放大器 22 2.5
2、.2 低通有源滤波器 23 3 系统设计 25 4 模拟结果 26 结论 31 谢辞 32 参考文献 33 - 1 - 音圈电机主动抗振系统设计 摘要：随着我国精密仪器应用的不断加强，其相关技术研究不断地深入与拓展。低 频微振动是其中极其重要的一个研究课题，它对精密仪表的正常工作有着重 要的影响。世界许多国家均高度重视，并投入大量的人力物力加以研究。在 主动抗振领域，采用音圈电机对低频微振动具有明显的优势。它具有结构简 单、体积小、高速、高加速度、响应快、线性力一行程优良等特性，在精密 仪器及精密工业领域有着广泛地研究前景。本文通过对国内外大量文献的参 考和研究，采用了主动与被动相结合的混合振
3、动隔离系统，在以空气弹簧为 被动隔振元件基础上，以音圈电机为主动隔振元件，进行了被动隔振性能的 测试分析与主、被动混合隔振系统的设计与仿真、分析。 关键字：主动隔振 音圈电机 PID - 2 - Abstract: In company with development of precision instrument，the correlation technique research has continually specialized At the same time the application of precision instrument has reinforced uncea
4、singlyAmong them， Low Frequency micro-vibration is a vitally important research topicIt has primary influence to precision instruments normal workIt has been attached importance by many states all over the worldSubstantive manpower and material resources has been plunged to study itAdopting Voice Co
5、il Motor has obvious advantage to keep apart Low Frequency vibration in initiative antiviebration regionVoice Coil Motor has lots of excellent performances including simple structure， compactness， high speed， high acceleration,speedy response，linear force，nice stroke and so on So it has wide researc
6、h future in exact instrument and precision industry regionAccording to consulting and investigating a great deal of literary around both here and abroad，initiative control and passive control has been adjoined to form hybrid vibration shielding systemBy air spring for passive vibration isolation elements，by Voice Coil Motor for active vibration isolation elements，incorporating sublevel vibration source，its isolation capability was tested and analyzed and mixed Vibration Isolation Sys
