1、PDF外文：http:/ 6633 字 出处： Kohl F, Fasching R, Keplinger F, et al. Development of miniaturized semiconductor flow sensorsJ. Measurement, 2003, 33(2): 109-119. 外文翻译 译文题目 微型半导体流量传感器的发展 &nb
2、sp; 原稿题目 Development of miniaturized semiconductor flow sensors 原稿出处 &n
3、bsp; Ludwig Boltzmann Institut fr Biomedizinische Mikrotechnik, Wien, Austria 微型半导体流量传感器的发展 摘要 基于 锗薄膜热敏电阻 的 微型流量传感器 具有 灵敏度 高 和响应时间 短的特点 ,其 热敏电阻放置在 以硅为衬底的 氮化 硅薄膜上， 使用 可控的 加热方式，
4、可测量 0.6-150000 3/h 气流 的流量。 本 论 文主要 通过比较 该传感器 在恒温差加热模式和恒功率模式下对阶跃加热功率变化的 响应 与对冲击波的响应来研究 传感器的动态特性 ,而声音冲击波是由一个简单的装置来产生的。 1 绪论 随着 工业 、 汽车 、 家庭 以及 医疗应用领域 对 微型流量传感器的需求日益增长 ，其测量原理 有基于 热敏电阻 、 红外线温度传感器 、焦热电元件、 PN 结、惠斯登微型电桥、 普朗特管和其 它元件 1-10。 而 微加工 技术的使用 ， 则 实现高灵敏度 、 低功耗 和快速响应的目的 。 &nb
5、sp;流量传感器的 一个重要应用是在内燃机 瞬时进气口 中 测量 其进气流量 。如果一个人 试图最大限度地缩小发动机的燃料消耗和对环境 造成的 污染 ，那么了解 燃烧过程参数的知识是必不可少的。为了 这种发动机的发展，传感器必须具备宽的速度测量范围以及能够对随着时间变化的空气流速进行高分辨率的检测。 这里所提到的热式流量传感器 是基于传热原理， 即 加热体 被流过其表面的流体 冷却 ，而其冷却速度取决于流体的流速 11。 这种 传感器是基于所谓的 热膜式 流量测量方法 ，其上有一层非常薄的氮化硅薄膜覆盖在与一个与流道平齐且由微加工产生的硅基衬底上，如图
6、1 所示。然后，一个薄膜加热 电阻被安放在衬底的对称面上，以获得对称的表面温度分布，而两个膜片温度测量电阻被分别放置在加热电阻的上游和下游区域。 图 1 热膜式传感器的横截面和隔膜表面的温度分布曲线图 H-加热电阻； DT1、 DT2-测温传感器 当有 一个切向 流体流过时，其表面的热对称性将被破坏。温度较低的流体流过加热电阻表面时，其一部分热量被带走，流体温度上升，于是下游区域的冷却效应减小，而且在这个区域的温度有可能比无流体流动时的表面温度还要高。因此，在被冷却的上游区域和被稍微冷却（或被加热 ） 的下游区域之间形成一个温度差，而这个温度差信 号可以转变为电压信号输出，并用作测量流体流速或质量流量的测量信号。这种方法所测量都的流速范围和灵敏度在很大程度上受加热电阻与测量电阻之间距离的影
