1、1 中文 4140 字 出处： Journal of Polymer Research (2006) 13: 25 32 微探针阵列零件的注射成型 Pei-Chi ChangSheng-Jye Hwang 1.概述 安装在内窥镜中的尖的探针阵列可以穿透肠胃里面的癌细胞。然后提供药物或基因进入细胞进行针对性的根治。 在这个研究中，制备了两个探针模型。第一个模型是基于单晶硅的探针阵列（高度 80mm，宽高比 0.17，密度 780/cm2），由 KOH 湿蚀刻制作。第二个模型是基于不锈钢的材料来制作的，这是由 WEDG 制作和组装的针灸针（高度 890mm，长宽比 0.45）。插电铸模具使用镍作为
2、材料。 高黏度的 PC 和通用 PP 被用来通过注射成型模具探针零件。在实验中，非常成功的制作了 PP 微型探针通过注射压缩成型。田口方法被认为接近最佳的处理参数和对注塑压缩成型做出了贡献。 2.介绍 显微组织材料在汽车，航空器，生化，测量，信息技术以及医疗卫生等方面有有广泛的应用。显微组织的周围的数量级是微米级别的，表面的粗糙度的要求超过亚微米。为了满足这些条件，非常规的制造技术，例如基于硅的 IC 处理技术是一些用于制造微结构部件的首要选择。 在 IC 制造中，硅最常用的地方在于制造薄膜和膜结构。硅有一定的优势，比如积分电路的兼容，还有良好的机械性能 。如果材料要求具有光学延展性，耐化学性
3、，无蛋白质的吸收以及批量生产，热塑性聚合物成型是首先选择的技术。 安装在内窥镜探针阵列的是很尖锐的一部分，可以穿透在肠胃里面 的癌细胞，然后提供治疗药物或基因进入细胞。人类的细胞直径是 20-30mm。要想穿透 2-3 层细胞或者外延真皮，微型探针的适当高度是 50-59mm。体微加工的主流技术 FAB-rication 生产出的一批柱石。使用单晶硅晶体和各向异性蚀刻剂可以制造尖锐的探针或凹槽。然而在使用单晶硅的过程中有两个限制。第一个是通过蚀刻参数的控制对 高度和纵横比的微探针限制。第二个是吸收的蛋白质并不适合蛋白质基因或溶液的单晶硅芯片。 聚合物的一般成型技术是热压成型，反应注射成型，注射
4、成型或注射压缩成型。塑2 料成型模具嵌件是必不可少的。有 两种方法来实现。其中之一是直接制造金属基体材料，第二种是通过延长时间来实现。哪一种方法更有优势呢？复制模具插入，主体材料是硅，PMMA 等。一旦主体材料准备好，通过电铸来复制模内镶件。复制技术，电铸已经被用于光学塑料很长一段时间。例如：塑料透镜或汽车反射镜。 这其中涉及到金属沉淀，可以反复使用。模嵌件的精度是亚微米级或纳米级。所以，模具插入的准确性和主体材料有很大的依赖性。 DESPA 等 重复研究了高纵横比的微 凝固组织的注塑过程，模具的高温对于微观结构成型是有帮助的。 KEMMANN 等研究发现 POM 的复制能力比 PPS 更好。
5、 YU 等人采用 PMMA 和 OQPC去注塑微薄壁模具（最小 50mm）发现高速注射对于低残余应力一部分的成型是有利的。NIGGEMANN 等人采用注塑成型微孔，他们发现 PC， PS， COC 适合用于微型注塑成型。 SU等人研究了硅微金字塔的复制模具插入。他们使用了 C-MOLD2000（ 2.5D 冲模 CAE 软件）来模拟显微注射成型的成型条件。微金字塔的纵横比为 0.707。 由于塑料的经济优势，发展高宽度比的探针组件的注射成型技术 是可以的。由于小型化和显微注射成型技术，微观结构复制和保真度，尺寸精度和注射成型的过程的高精度的要求，这些都是需要考虑的因素。因此，注塑成型机，模具和
6、工艺条件的微结构需要仔细检查。 在这项研究中，研究了两种探针主体的成型性。一个是基于硅为主体，一个是不锈钢。然后，使用电铸技术制造镍模内镶件和注塑成型复制微型探针阵列。最后，通过田口实验探讨研究来找到最接近加工参数的注射压缩成型工艺。 设计和制造的微型探针 ， 以下是探针的要求的参数 ： 1， 微探针的高度大约是 50-59mm； 2， 每个探针上有小尖头； 3， 单位面积上阵列密度高； 4， 每个探针有高的纵横比； 5， 蛋白质和体液没有化学反应。 3.基于硅的主体 首先，单晶硅和散装微加工来制造微探针母版。在湿法蚀刻中， EDP， KOH， TMAH和 NaOH 也常常用于各向异性蚀刻。在
7、 G1009 和 G1119KOH 蚀刻速度的最大比率将达到400:1。这意味着，一些蚀刻条件下，较高的纵横比的微探针或更少的削弱效果可以得3 到。 探针阵列的图案是矩形。 P 和 D 是间距和圆底座的直径。湿法蚀刻工艺会出现削弱效应，受此影响，微型探针阵列可以直接用于硅制造。 首先，模型被复制到由二氧化硅制作的 G1009 晶圆上。然后，用蚀刻剂 KOH 来蚀刻晶片和削弱效果。只要形成探针针尖，晶片从蚀刻剂中取出。由于天然的非均匀性和不准确操作。必须过度腐蚀。以确保大柱石的形成。但是过度腐蚀将会缩短探针的高度。 通过这样的技术，微探针的纵横比是 1.7和曲率半径是 0.1mm。 当用 KOH
8、 制造凹凸结构，水平面 411和 311将被形成在凸型角部的 8。基体虽然加入 IPA，可以减少削弱影响，新的凸角面 212将会形成。 在 212上的粗糙度是 100面上的 79 倍。比 11面大七倍。比 311面大九倍。 212面是不适合注射成型的。 KOH 的蚀刻速率的主要参数是浓度和温度。当浓度在 4M 周围的时候，蚀刻速率在100面上是最快的。即，大约 80-C 在 1.2 毫米每分钟周围。作为负面效应，表面粗糙度降低。例如， 80-C，用 8MKOH，表面粗糙度将会小于 100nm。为了得到更好的表面粗糙度插入物，百分之 45 的 KOH 来进行蚀刻 G1009 硅。 由于许多平面出
9、现在凸角，蚀刻速率不是线性的。并不容易测量或估计蚀刻速率的削弱。使用光学显微观察蚀刻状态，通过反复试验，来确保探针的形成。随着 45 重量的条件 ，平均探针的高度大约在 50 毫米。在模式 2 中，当使用的平均高度的微探针是80 毫米，直径 D 和高度的比率的微探针大约是 3.75。 D 的大小是 300 毫米和 P 为 350毫米。 4.不锈钢的主体 另一种类型的探针，这是复制主体型的针灸针，后来发展到研究探针的能力。为了解决针灸针。 1 个微孔用不锈钢板制作，然后， ACU 的穿刺针插入小孔并切断端部侧。微探针的底部直径大约是 190 毫米和高度是 890 毫米。虽然与规模探针相比有一些大 ，但是，在微硅探针里面，在注塑模具过程中，这是一个非常好的模型来研究微型探针。 在注塑成型试验中，插入两种探针模型制备的电铸模型。第一种模型是 80 毫米高的探针模具镶件。另一种是 80 毫米高的探针模具嵌件。电铸是将非金属或金属的显微组织转移到模具中的最流行的技术之一。对于第一个探针模型，硅探针的主体被复制，形成金属探针槽模具镶件。使用去离子水清洗硅探针的重要部分然后用氮气干燥。籽晶层层积 PVD（例如，蒸发，溅射等），这种金属种子层，镍分子可以假去电铸。然后，硅
