1、 毕业设计（论文） 开 题 报 告 题 目： 静电梳状驱动器的设计与建模 学 院： 理学院 专 业： 电子信息科学与技术 学生姓名： 指导教师： 日 期： 2007 年 3 月 毕业设计（论文）的主要内容： MEMS 简介， MEMS 工艺简介，表面加工的介绍，MUMPs 工艺介绍， EDA 工具的使用， ANSYS 软件的建模与仿真 静电梳状结构作为驱动部件或检测部件，已在微机电系统特别是在表面微机械器件中得到广泛的应用，如谐振器、微夹持器、微振动电动机等等。在微机械领域已经成为静电驱动的首选结构。这种微驱动器是目前 MOEMS 中使用 最广泛的一种驱动器 ,可用于驱动可移动微镜 、微扫描器
2、等。 本文对 10 对梳尺的驱动器，给以设计参数，进行建模与仿真。 设计（论文）的技术路线及预期目标： 通过查阅各类参考资料，使自己对驱动器有一定的了解，并着重对静电梳状驱动器有一定的研究。然后设计出自己的静电梳状驱动器，形状，尺寸，材料，以及工艺。用 ANSYS 软件先对其进行结构建模，然后再对其进行仿真。 预期目标使静电梳状驱动器能够与真实的器件一样，实现自身基本功能。 课题进度计划 开学时与指导老师交流讨论拟定毕业设计题目并进行初步的资料收集把开题报告做好 以及翻译好 3000 字的外文资料 . 接下来就要对我所用的软件进行了解和掌握，为接下来的具体操作作好理论的保障。同时进一步查阅建模和仿真方面以及其他相关的资料，并对所查资料进行分析，并组织相关资料，使其使自己知道每一个知识点的大体位置，为后面的工作做好充实的准备。 大概在 3 月份末 4 月份初的时候，就必须开始进行设计，建模与仿真了。在制作过程中，要一边自己动手实际操作，同时还要把结合现有的资源进行整合，遇到不懂得问题要及时和老师及同学进行请教和探讨，所作课题必须满足其应该具有的基本功能，要使其能够顺利，流畅地运行 。最好能在老师和同学的帮助下，把自己制作的课题做出自己的风格于特色，能够达到一定的水平。要清楚自己的整个制作过程，要能清楚、明了的知道每一个知识点的来源和制作步奏，为接下
